| P系列小型探針臺 |
| 探針臺主體 |
P-100 |
P-150 |
P-150S |
| 載物臺大小 |
4英寸 |
6英寸 |
| 載物臺X/Y位移范圍 |
78mm*65mm |
25mm*25mm |
| 載物臺位移方式 |
同軸旋鈕控制 |
微分頭控制 |
| 載物臺材質(zhì) |
合金 、陶瓷、聚四氟乙烯、鍍金等 |
| 高溫載物臺 |
選配（溫度范圍：常溫~200℃/300℃/400℃/500℃） |
| 樣品固定方式 |
負壓吸附 （2路獨立控制） |
負壓吸附 （3路獨立控制） |
| 載物臺升降 |
0~10mm精細升降 |
| 探針座數(shù)量 |
可放置4~6個探針座 |
| 探針臺尺寸 |
500mm長*325mm寬*500mm高 |
520mm長*400mm寬*500mm高 |
| 顯微鏡類型 |
體式顯微鏡 、單筒顯微鏡（可選） |
| 光學(xué)倍率 |
8X - 50X、(可選8X - 100X/200/300X/400X) |
| 顯微鏡位移范圍 |
升降50 mm |
| 光源 |
LED光源、同軸光源、冷光源 |
| 工業(yè)相機 |
可選高清1080P/720P；帶拍照、錄像、測量功能 |
| 探針底座 |
MP-150（標配） MP-80、MP-180、MP-200（可選） |
| 固定類型 |
磁性吸附固定、真空吸附(可選) |
| 移動精度 |
0.7um（標配） 、0.5um 、0.35um |
| 傾斜角度 |
最大30°，精細調(diào)節(jié) |
| 探針夾具 |
同軸探針夾具（標配） 選配：射頻探針機構(gòu)、進口三軸探針夾具 |
| 漏電精度 |
約10pA（進口三軸探針夾具，約100fA） |
| 接頭類型 |
同軸接頭 （可選：SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、三軸接頭、香蕉插頭） |
| 測試頻率 |
DC~100MHz/1GHz/40GHz/50GHz/67GH/110GHz |
| 探針針尖半徑 |
0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可選) |
| 探針材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅 |
| 光學(xué)隔震平臺 |
阻尼隔震式/氣浮隔震式(可選) |
| 平臺大小 |
800毫米*800毫米*800毫米（長*寬*高） |
| 屏蔽箱 |
PBX-6，適用6寸探針臺(選配) |
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以上參數(shù)僅供參考，購買以實際配置為準。 |