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8寸高/低溫探針臺T-200HC
用于1~8寸晶圓,批次小器件,單個芯片或MEMS等器件電學(xué)性能測試;
應(yīng)用場景:I/V曲線測試,C/V測試,射頻S參數(shù)測試等;
溫度范圍:-60℃/-55℃至150℃/200℃/300℃可選;
支持制冷機(jī)、液氮;兩者兼容(液氮采用PID系統(tǒng)控制,更節(jié)省用量);
獨特的低溫技術(shù),防止結(jié)冰現(xiàn)象產(chǎn)生;
用于實驗室芯片驗證,失效分析,產(chǎn)線射頻芯片S參數(shù)測試等。
     
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